在仪器未出现人为损坏的情况下，可以先从外部分析入手。

首先，对已知点进行排查，测站点与后视点的坐标是否正确，坐标点与实际位置是否一致。

其次，仪器的参数是否设置正确，包括棱镜参数，温度及气压，格网因子，仪器高棱镜高等。

第三，仪器操作是否按照正确的方法与步骤进行。

第四，目标棱镜杆是否居中垂直，如果是使用基座架设棱镜则需检查基座对中器及整平精度。

若以上经查都没有问题，则需检查全站仪本身各项指标是否发生变化，包括仪器整平精度，对中器的精度，水平与垂直角度的准确性，仪器测距的精度，轴系误差等。